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曲靖市DH2004型 多功能微波等离子体实验装置

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发布日期:2015年3月30日    西安自动化仪表二厂有限公司
产品介绍

DH2004型 多功能微波等离子体实验装置

由微波源、真空系统、供气系统、冷却系统、微波传输及微波谐振腔组成;由微 波源产生频率为2.45GHz的微波,沿矩形波导管传输,在水冷谐振腔反应室内激励 气体形成轴对称的等离子体球。

  可完成以下实验:微波等离子体化学气相沉积法制备多种功能薄膜材料、微 波等离子体刻蚀加工实验、材料表面改性和清洗等;适合大学物理、材料、化学 等领域的学生实验及教师科学研究。

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